強光檢查燈185le在半導體行業的運用

發布日期：2023-12-07      瀏覽次數：991

強光檢查燈185le在半導體行業的運用

半導體產業作為現代科技的支撐，正日益迅猛發展。然而，半導體的制造需要極其復雜的工序，隱藏其微小表面之下的是數百個步驟的精密交織。任何細小的缺陷，都將最終影響芯片性能和功能。因此，在制造過程的關鍵節點上建立精確的計量和檢查過程對于確保良率至關重要。
無論是從監控硅晶錠成形時的直徑，到晶圓平邊探測與晶圓刻號(Wafer ID)讀取，還是在封裝制程中檢測打線接合、晶粒品質、及雷射蓋印等半導體晶圓生產檢測與測量環節中，強光燈檢查技術都能提供強有力支持，快速協助這些制程提高產能與良率，并降低生產成本。

在集成電路制造中，對晶粒表面的缺陷進行檢測至關重要，如裂紋、碎片和燒痕等，這些缺陷可能影響晶粒的質量和性能。這些缺陷的性質多變，位置各異，基于規則的機器視覺難以準確檢測。同時，還需要避免標記對芯片質量不造成影響的微小畸變，以提高效率。考慮到芯片尺寸各異且數量眾多，傳統的人工檢測方法低效且不切實際，還可能引入無塵室的污染。

185le強光檢查燈可以識別晶粒表面上各種不可接受的外觀缺陷，這些缺陷對于基于規則的視覺檢測系統而言過于復雜或耗時。該工具檢查晶粒的表面，以檢測是否有裂紋、碎片或燒痕。






主要型號：高照度表面檢查燈185LE/185FI/185LE-AL/370TFI/R/100LE




高照度照明設備(表面檢查燈) 185LE-AL是目視檢查晶圓、鏡頭、玻璃基板的表面等為目的的光源。

適合于TFT面板、CF(彩色濾光片)，觸摸屏制造等行業。

規格參數：

大照度	照射距離 310mm、 照射直徑徑 55mmφ 時照度在 400,000 Lux以上）
光源	直流點燈 17V/185W 鹵素燈
照度調整	連續可調至大照度的 20%
冷卻方式	強制空冷
使用溫度范囲	0 ～ 40℃
電源電圧	AC 95V ～ AC 260V, 50/60Hz
功率	250W
尺寸	光源	136mm H × 112mm W × 150mm D
	電源	229mm H × 90mm W × 250mm D
重量	光源	1.2kg
	電源	3.6kg